1、真空設備用于排除實驗過程中大氣對于樣品純凈度的影響。
2. 實驗操作人員進行操作過程中，切勿攜帶電子產(chǎn)品。
3、實驗操作人員需佩戴真空設備專用操作手套進行操作，不能直接觸碰真
空設備。
4、真空設備配件應在干燥箱內保存，并遠離具有腐蝕性的化學氣體或液體。
5、真空設備需定期進行擦拭，應選用無塵紙或無塵布配套酒精或丙酮進行
清潔。
6、實驗室應保持一定干燥度，實驗操作人員應每日檢查實驗室的濕度及溫
度情況。
7、實驗室應保持良好通風，以避免機械泵油氣所造成的影響。
8、真空設備前級泵如使用油泵，應定期更換干燥劑及機油。
9、操作人員應關注真空設備所使用分子泵的溫度，以免過熱導致儀器壽命
縮短。
10、 操作人員應在分子泵轉速降至安全線以下后，放入氮氣或液氮。
11、 操作人員應密切關注高壓離子泵電源接口損耗程度，以防止操作人員觸
電，確保安全。
12、操作人員應在真空度達到1×10-8mbar 以上啟動離子泵。
13、 實驗人員進行操作時，應嚴格按照各真空設備操作步驟進行閥門開關，
以防止氣壓差所引起的倒抽現(xiàn)象。
14、 警鐘響亮時切勿再進行實驗，應立刻通知實驗室負責人及維修人員檢
查。
15、 如遇特殊情況，應立刻通知所有在場者迅速離開，并切斷真空設備電源。